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东南大学2025年1至3月政府采购意向-原子层刻蚀 机 详细情况
2025年01月06日 10:10 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 原子层刻蚀 机 | |
| 项目所在采购意向： | 东南大学2025年1至3月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东南大学 |
| 采购项目名称： | 原子层刻蚀 机 |
| 预算金额： | 580.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02102100教学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 1. 设备系统腔室兼容 4/6/8 寸晶 圆，工艺反应温度在-20-100℃ 之间。采用高精度自动三轴机械 手臂;
2. 腔体结构采用标准半导体 ICP 结构设计 ， 即有 布 局 Source RF/Bias RF,真空腔室漏率需小 于 5*10-10Pa.m3/s;
3. 腔体温度控制需有分布，区分晶 圆温度，腔壁温度，晶圆温度需 外接温控 Chiller，温度区间在 -20-100 ℃ , 温度精度小 于 ± 2℃ , 腔壁温度温度区间在 20- 40℃ , 温度控制精度为 ± 1℃;
4. 气体供给模块化，气体气路需大 于 10 路，常规针对 TSV&ALE 的 气体配置，气体需要达到半导体 行业的标准安全。 |
| 预计采购时间： | 2025-02 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。