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吉林大学2022年11至12月政府采购意向-光刻机 详细情况
2022年11月04日 08:26 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 吉林大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 吉林大学 |
| 采购项目名称： | 光刻机 |
| 预算金额： | 360.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A020599其他机械设备 |
| 采购需求概况 ： | 次采购的高精度光刻机，同时具备高精度光刻及键合对准功能。采用先进的LED曝光灯，光强均匀度≤±5%，光刻分辨率≤1μm；具有高分辨率或大景深曝光模式；具有手动或自动两种对准模式；正面对准精度≤±0.5μm；背面对准精度≤±1.25μm。具体指标如下：
主要配置包括：主机、曝光系统、正面显微对准系统、背面显微对准系统、芯片找平系统、对准台
主要技术指标：
1 主机
1.1具有稳定可靠的芯片厚度补偿系统
1.2由计算机进行工艺参数设定
2曝光系统
2.1曝光波长：350nm~450nm；
2.2曝光灯：LED曝光灯；
2.3分辨率：≤1？m；
2.4正面对准精度：≤ ±0.5？m；
2.5背面对准精度：≤ ±1.25？m；
2.6光强均匀度：≤ ±5％；
2.7曝光模式：“高分辨率”和“大景深”或单一模式。
4 对准模式：手动+自动对准
5 对准台：
5.1行程的范围： X：±5mm； Y：±5mm； θ：±5°；
5.2对准台移动调节分辨率X-Y方向: 0.02μm；θ方向: 0.00001deg； |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。