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复旦大学2023年11月政府采购意向-溅射蒸发台2 详细情况
2023年10月18日 15:06 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 溅射蒸发台2 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2023年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 溅射蒸发台2 |
| 预算金额： | 180.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购2台溅射蒸发台2，也是用于生长高质量的金属和非金属薄膜材料，但其主要技术指标与溅射蒸发台1不同。该设备主要由真空腔、泵浦系统、压力监测系统、共溅射模块、电源切换系统等构成。主要参数包括但不限于：真空腔采用SS304无应力不锈钢材料，腔室为圆柱体，直径≥225mm，高度≥250mm；机械泵泵浦速率≥3m3/小时，真空泵泵浦速率≥6m3/小时等。 |
| 预计采购时间： | 2023-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。