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中国科学技术大学2022年1至12月政府采购意向-基于SiC材料感应耦合等离子体刻蚀机 详细情况
2022年02月15日 11:20 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 基于SiC材料感应耦合等离子体刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2022年1至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 基于SiC材料感应耦合等离子体刻蚀机 |
| 预算金额： | 500.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A033499其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 1.主要用于量子精密测量、量子通信、量子计算等研究领域的碳化硅微纳米结构刻蚀
2.采购1套设备，满足以下需求： 样品尺寸：max 8inch；Source power：≥2000w；Bias power：≥600w；Table 温度范围：-20~250℃；Gas line：≥ 12 路；分子泵抽速：≥ 1300L/s；配置机械卡盘、背He冷却；反应腔室、泵组、气路以及真空管路均需考虑防氯基、溴基腐蚀设计；配置激光终点监测装置，可实现在线监控刻蚀终点。
是否专门面向中小企业采购：否。 |
| 预计采购时间： | 2022-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。