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中山大学2024年12至1月政府采购意向-中山大学电子与信息工程学院CNT制备设备采购项目 详细情况
2024年12月02日 19:48 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 中山大学电子与信息工程学院CNT制备设备采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2024年12至1月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 中山大学电子与信息工程学院CNT制备设备采购项目 |
| 预算金额： | 198.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100501金属材料试验机 |
| 采购需求概况 ： | 设备名称：CNT制备设备
数量：1套
用途：设备包含CVD系统和催化剂蒸镀系统，可以实现4inch单壁和多壁碳纳米管均匀生长，实现标准化生长工艺。
技术要求（仅列主要，详见采购文件）：
主机参数：
1，CVD系统
（1）石英管：外径110mm X 内径100mm X 长度900mm
（2）★放置基底最大尺寸：100mm
（3）▲温度范围：400-1100℃
（4）PID控温，控温精度≤0.1℃
（5）3路气体流量控制，需求气体种类：Ar，H2，CH4或C2H2，控制精度0.1 SCCM
（6）真空度：≤0.1Torr，抽速：20L/min
（7）★工艺要求：满足100mm基底整片生长碳纳米管，生长单壁和多壁碳纳米管，提供对应的生长工艺，在用户现场实现生长工艺。
2，催化剂蒸镀系统
（1）催化剂制备真空腔室：210mmφ150mm
（2）基底支架：360°旋转，4面，可满足100mm×100mm样品
（3）蒸发源：2组电极、2组蒸发源，配备蒸发源靶材
（4）真空系统：涡轮分子泵67L/sec
（5）真空度：≤1 x 10-4Pa
（6）▲镀膜精度：≤0.1nm/sec
（7）膜厚监测系统：最小可监测厚度0.01nm，最大可监测厚度100nm
（8）▲工艺要求：提供可用于生长单壁和多壁碳纳米管配套的催化剂的制备工艺，在用户现场实现制备工艺。
交付时间要求：2025年7月15日
交付地点要求：广州市海珠区中山大学南校园557栋
免费保修时间：
2年
保修范围：
整机
售后服务要求：
24小时响应，72小时提供解决方案
培训要求：
2次现场培训。培训内容包括仪器的技术原理、操作、调试，数据处理、基本仪器维护，故障排除等。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。 |
| 预计采购时间： | 2025-01 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。