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中山大学2022年11至5月政府采购意向-材料学院多腔室超高真空磁控溅射镀膜机采购项目 详细情况
2022年10月13日 22:58 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 材料学院多腔室超高真空磁控溅射镀膜机采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11至5月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 材料学院多腔室超高真空磁控溅射镀膜机采购项目 |
| 预算金额： | 280.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购1台多腔室超高真空磁控溅射镀膜机。
1) 4个独立工作腔室，其中2个腔室各配装2支Ф4英寸的磁控溅射靶，另外2个腔室各配装1支Ф6英寸的磁控溅射靶；4个腔室中，3个RF源，1个DC源；各腔室配备Ar, O2, N2, H2(或H2O)气路；
2) 1个多slot进样室，配备Ar或N2；
3) 6英寸均匀性优于±3%，重复性优于±2%；
4) 衬底加热温度最高到500℃；
5) 极限真空度≦5×10-7 Torr；
6) 基片尺寸可至6英寸；
7) 全自动控制系统，各腔室并行独立运行，可远程操作。
交付时间：2023年
交付地点要求：深圳校区
售后服务要求（含培训）：整机保修2年，现场安装培训和软硬件全面应用培训；免费技术咨询。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。