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中国科学院微电子研究所2025年10至11月政府采购意向-关键尺寸量测设备 详细情况
2025年04月14日 18:55 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 关键尺寸量测设备 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2025年10至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 关键尺寸量测设备 |
| 预算金额： | 1700.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100304-光学测试仪器 |
| 采购需求概况 ： | 采购标的名称：关键尺寸量测设备。采购数量为1台。采购标的主要功能：满足8英寸晶圆在DUV光刻中关键尺寸测量，可与光刻机在线联动，对应65nm以上工艺节点，分辨率2nm，静态重复精度2nm，动态重复精度：线1.7nm，孔2.1nm，采购标的需满足的质量，服务，安全，时限：提供设备验收合格后1年质保及一体化环境工程整体解决方案；设备订单生成后10月内交货安装完成。 |
| 预计采购时间： | 2025-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。