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哈尔滨工业大学2025年11月政府采购意向-毫米波等离子体生长装置 详细情况
2025年10月30日 16:52 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 毫米波等离子体生长装置 | |
| 项目所在采购意向： | 哈尔滨工业大学2025年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 哈尔滨工业大学 |
| 采购项目名称： | 毫米波等离子体生长装置 |
| 预算金额： | 750.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100503工艺试验机 |
| 采购需求概况 ： | 需要高性能毫米波等离子体生长装置一台，要求如下。
必备配置：
不锈钢真空反应腔（容积≥5L，内壁抛光处理，防腐蚀）；
毫米波发生器及匹配网络（含功率计、阻抗匹配器）；
高精度气体质量流量控制器（MFC）及气体预处理系统（过滤、稳压）；
水冷系统（用于反应腔、毫米波部件降温，流量≥10L/min）；
设备操作软件（含中英文界面，支持远程监控）。
可选配置（按需勾选）：
样品台原位加热 / 冷却模块（最低温度≤-50℃）；
等离子体诊断附件（如朗缪尔探针、发射光谱仪接口）；
手套箱对接接口（用于空气敏感材料的样品转移）。 |
| 预计采购时间： | 2025-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。