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中国科学院化学研究所2022年6月政府采购意向-紫外光刻机 详细情况
2022年04月20日 13:48 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 紫外光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院化学研究所2022年6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院化学研究所 |
| 采购项目名称： | 紫外光刻机 |
| 预算金额： | 296.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699-其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 光刻通过曝光的方法将掩膜版上的图形转移到涂覆于衬底表面的光刻胶上，然后通过显影、刻蚀等工艺将图形转移到衬底上。紫外光刻机利用高压紫外汞灯作为光源，进行大面积、微结构光刻胶图案的制备。光刻是复制微细图形的最有效手段之一，是制作平面型单元电子器件和集成电路制备中的一个主要工艺，该工艺直接决定了大规模电路的特征尺寸，是大规模集成电路制造的关键。 |
| 预计采购时间： | 2022-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。