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中国科学技术大学2023年4至6月政府采购意向-管式加热炉 详细情况
2023年03月14日 16:26 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 管式加热炉 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2023年4至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 管式加热炉 |
| 预算金额： | 600.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02109900其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 管式加热炉能用以实现CMOS前道工艺线中需要均匀、可控高温的工艺，如退火、扩散和高质量氧化硅/LPCVD材料生长，对CMOS器件和集成电路制备有关键性作用。要求温度稳定、精确，能适应8英寸晶圆，能在常压、低压气体下进行材料生长等。 |
| 预计采购时间： | 2023-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。