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清华大学2022年10至11月政府采购意向-接触式光刻机 详细情况

2022年10月07日 14:09 来源: 中国政府采购网 打印

接触式光刻机
项目所在采购意向: 清华大学2022年10至11月政府采购意向
采购单位: 清华大学
采购项目名称: 接触式光刻机
预算金额: 700.000000万元(人民币)
采购品目:
A032103电子工业专用生产设备
采购需求概况 :
拟采购接触式光刻机1套, 2.采购标的需实现的主要功能或者目标:兼容4、6、8英寸wafer,可实现双面对准和接触式曝光功能。要求:质保期至少1年;售后服务响应不超过24小时(不区分工作日和节假日)。
预计采购时间: 2022-11
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。