A02100502非金属材料试验机

设备名称：6 英寸管式炉 数量：1套 用途：更新改造混合集成芯片先导线的既有6 英寸快速升温管式炉，用于制作高致密度氧化物薄膜，开展混合集成芯片电气隔离工艺。升级改造后，系统将具有：炉膛内径大于或等于2 英寸；最高工作温度大于或等于1800 ℃；温度连续可调范围包括：900 ℃~1750 ℃，且可在1750 ℃条件下连续工作时间大于或等于6 小时；配套温度控制系统和温度测量组件，温度控制精度 ≤ ±1 ℃；配套无油干泵真空系统，炉膛内真空度优于1×10-5 mbar。 技术要求（仅列主要，详见采购文件）： 1. 炉膛内径大于或等于2 英寸 2. 最高工作温度大于或等于1800 ℃ 3. 配套高纯氧气、高纯氩气对应的进气管路和质量流量计，气体流量连续可调节范围包括：0~5.00 SLPM 4. 气体流量的最小控制精度 ≤ 0.001 SLPM 5. 温度连续可调范围包括：900 ℃~1750 ℃，且可在1750 ℃条件下连续工作时间大于或等于6 小时 6. 室温~1600 ℃温度范围内的升温速率大于或等于5 ℃/min；大于1600 ℃的工作温度区间的升温速率大于或等于2 ℃/min 7. 配套温度控制系统和温度测量组件，温度控制精度 ≤ ±1 ℃ 8. 配套无油干泵真空系统 9. 炉门配套自动泄压保护装置和压力监控装置 10. 炉膛内真空度优于1×10-5 mbar 11. 配套冷却系统和冷却管路 12. 配套工作温度达到1800 ℃的刚玉管，数量不少于3 根 13. 配套6 英寸石英管，数量不少于1 根 交付时间要求：2025年7月15日之前 交付地点要求：广州市海珠区中山大学南校园557栋 售后服务要求（含培训）： 售后服务：供应商应提供设备出厂检验合格证明材料，提供设备相关使用说明文件。保修期内，凡属正常使用情况下，因产品质量问题引起的硬件故障，给予及时维修和技术咨询，24 小时响应，2 个工作日内上门服务或给出解决方案。 安装与调试：仪器到达用户所在地后，根据买方的通知，卖方在1周内安排仪器的安装调试，直至达到验收指标。仪器的安装调试应在于3个工作日内完成。 培训要求：负责设备使用及安全操作规范培训。 具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。