A02109900其他仪器仪表

一、采购项目名称： 真空感应加热化学气相沉积设备 二、采购需求概况： （一）采购标的名称 真空感应加热化学气相沉积设备 （二）采购标的需实现的主要功能或者目标 （1）主要功能： 该设备通过结合气相沉积原理与感应加热技术，在真空/气氛环境下气相沉积制备纳米级金属粉末，主要应用于易挥发金属元素如Mg、Zn、Ag等的纳米材料或纳米化合物制备与合成。该设备将有效拓宽纳米材料的制备路径，为开发具有特定功能性的纳米级金属材料提供关键支撑。该设备的建设将为多种领域所需高性能纳米材料的研发与应用奠定坚实的技术基础，可服务于氢能、军工、医疗等前沿领域。 （2）主要技术指标： ①真空感应加热系统：在真空环境下进行感应加热，加热范围0-1000℃，升温/保温精度可控制±1℃。可实现对炉膛的快速加热，升温速度50℃/s。 ②真空泵组：真空度可达到0.1 Pa，漏率0.67 Pa/h。 ③真空升降系统：可实现实验样品与沉积面之间距离调节，调节范围0 mm-150 mm。 ④真空旋转收集系统：可在不停机状态下实现真空条件下沉积物连续收集。收集盘可调节转速，转速20-100 r/min。 ⑤气氛加入系统：可以通入氢气和甲烷，气体流速可控，范围100-2000 ml/min。 ⑥人机操作系统：可进行自动控制各个分系统，以及自动采集、记录各个分系统的运行数据。 ⑦真空冷却系统：真空旋转收集盘水冷温度可维持在15℃。 ⑧样品室尺寸：φ100 mm*200 mm；收集系统尺寸：φ500 mm*400 mm。 ⑨真空机械臂：可承载重量：1 kg，可操纵距离：400 mm。 （三）采购标的数量 采购标数量为：1套 （四）采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求 （1）设备极限真空度和升压率：≤0.1 Pa和0.67 Pa/h。 （2）提供免费上门安装、调试以及培训服务。 （3）若仪器在保修期内出现故障或损坏，由设备供应商对设备进行全面维修，包括对相应零部件进行更换，费用由供应商提供。质保期为自甲方签署最终验收报告之日开始计算，整体质保1年。更换的零件保修期自更换之日起两年。 （4）自合同签订之日起8个月内完成设备安装调试与验收。 三、预算金额 预算金额为：260万元