A033499其他专用仪器仪表

拟实现的主要功能或目标： 利用紫外光刻机，通过紫外光与光刻胶发生光化学作用，并改变受其在显影液中可溶性的特性，将掩模板上的图形和结构转移（或映射）到光刻胶上，经过图形化的光刻胶可作为后续工艺的掩膜层，或者直接作为功能结构。具备正面套刻，背面套刻，分辨率优于0.8um，满足2寸、4寸标准晶圆及碎片样品加工能力。 采购需求： 拟采购紫外光刻机一套，用于满足亚微米至微米级光刻图形化的需求。主要技术指标：正面套刻≤0.5um，背面套刻≤1um；分辨率优于0.8um，满足2寸、4寸标准晶圆及碎片样品加工能力。拟采购的设备需满足7*24h长时间稳定运行，提供至少整机1年的免费保修（含人工费和零配件费用），保修期内因质量问题而导致仪器停用的时间应从保修期中扣除。应在设备安装调试合格后对用户操作、维护人员进行免费培训，包括软件、硬件的操作和日常维护、典型应用工艺。维修响应时间：供方应在4小时内对用户的服务要求作出响应，如有必要、在48小时内派工程师到达现场、检查和排除故障。重大问题或其它无法迅速解决的问题应在一周内解决或提出明确解决方案。 是否面向中小企业采购：否。