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zycgr240415012026年4至5月政府采购意向-高精度冷冻离子加工系统 详细情况
2026年02月06日 09:33 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 高精度冷冻离子加工系统 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr240415012026年4至5月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr24041501 |
| 采购项目名称： | 高精度冷冻离子加工系统 |
| 预算金额： | 145.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02062002-电气物理设备 |
| 采购需求概况 ： | 1、气体源为氩气，控制方式质量流量控制。
2、加速电压：0.0-6.0kV。
3、真空系统：涡轮分子泵（67 L/S）+机械泵（135 L/min(50 Hz)、162 L/min(60 Hz)。
4、截面研磨：最大研磨速率（Si片）500 um/h^1以上。 可装载最大20(W)*12 mm(D)*7 mm（H）样品。样品移动范围为 X：±7 mm、Y：0～+3 mm。离子束间歇加工ON/OFF 时间设定范围1秒～59分59秒。摆动角度±15°、±30°、±40°。
5、平面研磨：加工范围Φ32 mm。 |
| 预计采购时间： | 2026-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。