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中山大学2026年5至6月政府采购意向-中山大学柔性电子学院半导体器件电性测试平台采购项目 详细情况
2026年04月27日 17:47 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 中山大学柔性电子学院半导体器件电性测试平台采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2026年5至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 中山大学柔性电子学院半导体器件电性测试平台采购项目 |
| 预算金额： | 149.600000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02110204半导体器件参数测量仪 |
| 采购需求概况 ： | 四探针电性测试平台，数量：12套。
该批设备主要用于对半导体材料、柔性电子器件、微纳电路等进行高精度的电学性能测试。具备源测量单元（SMU）和四探针测试功能，可精确测量材料的方阻、电阻率、I-V特性曲线等关键电学参数，是材料电学性质评估和器件性能表征的关键设备。
技术要求如下：
1.操作界面：5寸触摸显示屏，全图形化操作；
2.测量精度：源及测量的准确度为0.1%，分辨率5数位；
3.工作模式：四象限工作（源和阱），电流低至100pA，电压高至100V，脉冲最大电流10A；
4.扫描功能：支持线性扫描、指数扫描及用户自定义扫描；
5.通讯接口：RS-232、GPIB及以太网；
6.最大采样速率：100,000 S/s；
7.载物台：四寸，XYZ theta可调节；
8.观测系统：显微镜总放大倍率15-100x；
9.探针座：移动精度80TPI；
10.线缆与接口：三同轴线缆（Triax），配备信号转接头，适配不同仪表；
11.其他：具备真空吸附功能，配备多尺寸直流探针及T型稳定型丝杆驱动。
交付时间要求：
2026年11月30日前。
售后服务要求：
整机免费保修5年以上（含软件升级），包含设备培训，培训时间>5小时，售后响应时间24h内。 |
| 预计采购时间： | 2026-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。