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中山大学2022年11至12月政府采购意向-电子与信息工程学院氟化氙刻蚀机采购项目 详细情况
2022年10月13日 10:55 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电子与信息工程学院氟化氙刻蚀机采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 电子与信息工程学院氟化氙刻蚀机采购项目 |
| 预算金额： | 320.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 氟化氙刻蚀机， 数量：1套。
用途：该设备用于半导体微机电器件中，应用于硅、钼、锗等材料的牺牲层释放刻蚀工艺；
技术要求：
刻蚀速率：>2 um/min；
选择比Si/SiO2：≥5000:1；
选择比Si/SiNx：≥5000:1.
交付时间要求：合同签订后15个月内；
交付地点要求:XXX；——（贸易条款一般是EXW工厂提货价）
售后服务要求：在质保期内，24小时内电话响应，48小时内到达现场。包含装机服务，和对用户工程师提供针对设备原理、基本操作、日常保养和简单故障排除的现场培训。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。