A02052402 真空应用设备

（1）采购标的名称：真空互联薄膜器件创新研发重大科学装置 （2）主要功能或目标：真空互联薄膜器件创新研发重大科学装置是集SiC、Ga2O3、金刚石等半导体薄膜生长、器件制备、测试分析为一体的半导体领域重大科学装置，系统主要由分子束外延系统（MBE）、碳化硅薄膜化学气相沉积系统（CVD）、氧化镓和氮化镓薄膜金属有机化学气相沉积系统（MOCVD）、金刚石薄膜微波等离子体化学气相沉积系统（MPCVD）、等离子体增强原子层沉积系统（ALD）、磁控溅射系统（Sputtering）、X射线形貌测试系统、飞秒激光多离子源FIB微纳加工系统、真空互联机械手及配套功能腔体构成的大型真空互联系统，用于薄膜芯片的创新研发。 （3）标的物数量：1套，包括A、B、C、D、E、F、G、H、I、J模块。 （4）标的物需满足的质量、服务、安全、时限等要求： 标的物需要包含的A-J模块为：A.分子束外延（MBE）系统；B.碳化硅薄膜外延（CVD）系统；C.超高真空磁控溅射系统；D.微波等离子体化学气相沉积系统（MPCVD）；E.等离子增强原子层沉积（PEALD）系统；F.双腔室金属有机化学气相沉积系统（MOCVD）；G.飞秒激光多离子源FIB微纳加工系统；H.双波长转靶X射线形貌测试系统；I.量子信息技术测试系统；J.真空互联系统及设备接口改造。 货物需具备良好的质量保证及稳定性，货源来自原厂、正规和可靠的途径，在货物质保期内，如货物出现质量瑕疵或缺陷，供方需免费更换备件或者维修。供应商在服务期内需指定1名工程师对接我校提供技术支持与运行保障服务，提供定时巡检、技术支持、设备维保服务。供货、运输、实施时要确保货物、场地、人员安全，严格遵守学校安全管理规定和疫情防控要求。供应商需对我校师生提供免费的技术培训、操作培训及日常维护培训。设备运行期间出现故障，应尽快到现场解决。