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华中科技大学2025年4至11月政府采购意向-氧化物单层沉积系统 详细情况
2025年03月12日 16:14 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 氧化物单层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 华中科技大学2025年4至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华中科技大学 |
| 采购项目名称： | 氧化物单层沉积系统 |
| 预算金额： | 260.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02052402真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购数量：1台，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
1.晶圆尺寸:8/12英寸,可定制
2.工艺类型:PE、Thermal
3. 装片能力:1片/腔，最大可定制10腔
4.工艺温度:RT~500°C，可定制
5. 前驱源管路:单腔最大6路独立管路,可定制
6. 适用工艺: AlO、HfO、AIN、TiIN、SiN、Ru、Co等氧化物、氮化物及金属
7. 应用领域:先进逻辑、存储等晶圆制造领域 |
| 预计采购时间： | 2025-07 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。