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中国科学技术大学2023年10至12月政府采购意向-立式匀胶系统 详细情况
2023年10月07日 11:01 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 立式匀胶系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2023年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 立式匀胶系统 |
| 预算金额： | 150.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02109900其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 1、立式匀胶系统主要用于MEMS器件、光学、量子等芯片制造加工过程中光刻胶涂覆
2、匀胶系统1套。1.满足圆片2-8寸；方片最大5mm*5mm,最大5寸 2.胶厚1um左右时，6寸圆片膜厚均匀性优于?2%，5寸方片膜厚均匀性优于?5% |
| 预计采购时间： | 2023-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。