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中国科学院微电子研究所2025年3至6月政府采购意向-透射电子显微镜(TEM)、聚焦离子束显微镜(FIB)以及二次离子质谱(SIMS)等半导体测试分析 详细情况
2025年02月08日 17:42 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 透射电子显微镜(TEM)、聚焦离子束显微镜(FIB)以及二次离子质谱(SIMS)等半导体测试分析 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2025年3至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 透射电子显微镜(TEM)、聚焦离子束显微镜(FIB)以及二次离子质谱(SIMS)等半导体测试分析 |
| 预算金额： | 1000.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | C19010000-技术测试和分析服务 |
| 采购需求概况 ： | 微电子研究所先导工艺研发中心主要承担集成电路先进器件与关键工艺的研发工作，先进工艺与器件的研发过程中，需要大量使用例如TEM（透射电子显微镜）、FIB（聚焦离子束）等先进的物理分析手段进行物理结构表征，以及例如SIMS（二次离子质谱）、EDX（能量散射型X射线荧光光谱）等先进的成分分析手段进行元素分布表征，先导中心不具备分析测试能力，需要委外进行。 |
| 预计采购时间： | 2025-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。