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中国科学院上海技术物理研究所2025年9至12月政府采购意向-12英寸非接触式光刻机 详细情况
2025年09月17日 19:41 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 12英寸非接触式光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院上海技术物理研究所2025年9至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 采购项目名称： | 12英寸非接触式光刻机 |
| 预算金额： | 600.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02201100航天专用工艺设备 |
| 采购需求概况 ： | 1. 曝光光源：汞灯（i线），投影图形1:1 ；
2. 最大光刻面积：12英寸；
3. 分辨率：优于0.5μm (正性光刻胶厚度1um)；
4. 套刻精度：优于±350nm；
5. 拼接精度：±80nm
6. 曝光时间：≤120s@ 300mj（全片超过1.4亿个多边形结构）；
7. 掩模版下表面与芯片上表面之间距离不小于10mm。 |
| 预计采购时间： | 2025-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。