A033499其他专用仪器仪表

出于对半导体技术、光电子技术及MEMS等微结构研发和模型验证的需要，拟购置一套扫描图形发生系统。主要功能是在实现量子器件样品表面微观形貌高分辨观测的基础上，配合图形发生器，完成表面微纳结构的高精度刻蚀工作。拟采购设备将作为公共设备支持量子物理实验中心和校内其它科研团队的科学研究，满足开展前沿研究的迫切需求。设备购置后将主要服务于新型Flash存储器、阻变存储器、忆阻器等新型电子器件集成和用于集成的逻辑控制嵌入式电路设计研究，面向人工神经网络的忆阻器阵列研究。