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中山大学2022年11至12月政府采购意向-电子与信息工程学院接触式曝光机采购项目 详细情况

2022年10月13日 10:55 来源: 中国政府采购网 打印

电子与信息工程学院接触式曝光机采购项目
项目所在采购意向: 中山大学2022年11至12月政府采购意向
采购单位: 中山大学
采购项目名称: 电子与信息工程学院接触式曝光机采购项目
预算金额: 330.000000万元(人民币)
采购品目:
A032103电子工业专用生产设备
采购需求概况 :
接触式曝光机, 数量:1套。 该设备用于1微米线宽掩膜板的对准和曝光;技术要求:1、对准模式:上端、底端、红外;2、曝光线宽:3微米(接近式曝光),1微米(接触式曝光),0.8微米(真空接触式曝光); 3、支持8寸;4、光源波长:365纳米,405纳米,436纳米。交付时间要求:12个月;交付地点:中山大学广州校区大学城校园纳米楼。售后服务要求:3年质保期。对所提供的货物在质保期内,因产品质量而导致的缺陷,必须免费提供包修、包换、包退服务。售后服务要求(含培训):培训2天、操作员3名。
预计采购时间: 2022-11
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。