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同济大学2022年10至12月政府采购意向-双面对准光刻机 详细情况

2022年10月25日 20:43 来源: 中国政府采购网 打印

双面对准光刻机
项目所在采购意向: 同济大学2022年10至12月政府采购意向
采购单位: 同济大学
采购项目名称: 双面对准光刻机
预算金额: 450.000000万元(人民币)
采购品目:
A9999其他不另分类的物品
采购需求概况 :
分辨率小于1微米,正面套刻精度达到0.5微米,背面套刻精度小于1.5微米
预计采购时间: 2022-12
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。