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华南理工大学2022年11月政府采购意向-分子束外延（MBE）系统真空电子束曝光（EBL）系统采购 详细情况
2022年10月19日 08:23 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 分子束外延（MBE）系统真空电子束曝光（EBL）系统采购 | |
| 项目所在采购意向： | 华南理工大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华南理工大学 |
| 采购项目名称： | 分子束外延（MBE）系统真空电子束曝光（EBL）系统采购 |
| 预算金额： | 1800.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A030603陶瓷制品生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 拟购置的分子束外延（MBE）系统真空度极高，用于生长Ⅲ-Ⅴ、Ⅱ-Ⅵ族高纯度半导体材料，所制备材料缺陷密度低，广泛用于生长薄膜、纳米柱、纳米管、量子阱等类型材料；真空电子束曝光（EBL）系统光刻精度高，用于进行光伏电池、滤波芯片、射频器件等器件前体的光刻加工。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。