A02110204半导体器件参数测量仪

高功率电输运测量系统，数量：1套。该设备用于半导体材料与器件物性测试与表征，发现和理解新奇物理现象和内在机理，可用于补全物理学院在极端条件下半导体材料与器件表征方面的短板，是半导体物理、凝聚态物理与光伏物理相关方向的必需设备。可以测量宽禁带半导体器件（如晶体管，二极管与IGBT器件等）的电子输运特性，开展先进功能材料的极端条件下的电学物性测量，可应用于宽禁带半导体材料。技术要求：提供高压测试模块，最大电压不小于3000 V，最大电流不小于8 mA，电流分辨率不大于1pA；提供超高电压模块，最大电压不小于10KV，最大电流不小于10 mA，电压分辨率不大于50V；提供最高电流到400 A的超大电流测量模块，以及相应的能承受400A的大电流测试电缆与夹具；提供可与10 KV超高电压相适应的超高压扩展器与适配器，以及相应的超高压电缆；探针台兼容≥8英寸样品测试，标准卡盘中心吸附孔为1 mm直径，可以根据客户要求定制；卡盘平整度：5 μm，标准卡盘可360度无间隙旋转；卡盘力值精度：优于0.25%。带有角度锁死装置；卡盘可微调旋转角度，调节精度0.002°，探针平台具有升降调节功能。卡盘电学独立悬空，带香蕉头插口，可以作为背电极使用。探针座数量≥8套，磁力吸附，带磁力开关，X-Y-Z 方向的移动行程≥12 mm，精度优于0.7μm，满足DC和RF测试；DC测试针座≥6个。交付时间要求：11个月内；交付地点要求:广州中山大学南校园；售后服务要求（含培训）：到货安装调试完成后1个月内，有专业工程师免费现场提供一次系统的使用培训服务，直至用户相关人员熟练掌握为止，介绍产品性能结构，操作，维护保养知识以及数据处理、工艺调试和排除一般故障的知识和技能；如对设备有疑问，用户可使用电话或邮件咨询，如有必要，供应商可提供相关技术交流与培训。