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华北电力大学2022年11至12月政府采购意向-台式磁控溅射系统 详细情况

2022年10月19日 10:52 来源: 中国政府采购网 打印

台式磁控溅射系统
项目所在采购意向: 华北电力大学2022年11至12月政府采购意向
采购单位: 华北电力大学
采购项目名称: 台式磁控溅射系统
预算金额: 200.000000万元(人民币)
采购品目:
A02100699 其他试验仪器及装置
采购需求概况 :
水冷式溅射源,MFC流量计高精度控制过程气体,DC/RF溅射电源可选,全自动触摸屏控制方案,可设定、储存多个溅射程序,4英寸基片,本底真空<5*10-7mbar
预计采购时间: 2022-12
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。