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zycgr210713022025年12月政府采购意向-等离子体增强化学气相沉积系统PECVD 详细情况
2025年11月12日 11:11 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 等离子体增强化学气相沉积系统PECVD | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210713022025年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21071302 |
| 采购项目名称： | 等离子体增强化学气相沉积系统PECVD |
| 预算金额： | 480.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 兼容8寸及以下晶圆，工艺温度范围100~400 ℃；可搭配超过10管以上定制化气体管路；片内均匀性≤2%；等离子体源类型为ICP，额定功率35 kW，频率13.56 MHz |
| 预计采购时间： | 2025-12 |
| 备注： | / |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。