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华南理工大学2022年11月政府采购意向-电子束光刻系统 详细情况
2022年10月18日 08:25 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电子束光刻系统 | |
| 项目所在采购意向： | 华南理工大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华南理工大学 |
| 采购项目名称： | 电子束光刻系统 |
| 预算金额： | 1200.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100305电子光学及离子光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 电子束光刻（EBL）是利用电子束在涂有电子抗蚀剂的晶片上直接描画或投影复印图形的光刻技术，能获得高分辨率的图形。
该设备的购置可以大幅提高实验室的刻蚀精度，对于三维集成电路和DRAM的制备起着关键作用。有利于我国突破芯片领域的卡脖子问题，并取得领先地位 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。