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复旦大学2023年11月政府采购意向-快速热处理系统 详细情况
2023年10月19日 08:42 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 快速热处理系统 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2023年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 快速热处理系统 |
| 预算金额： | 640.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购4套相同型号的快速热处理系统，其能够快速升温的加热设备，可广泛应用于：接触退火，注入退火，快速热氧化，快速热氮化，硅平滑，扩散，致密化和结晶化，硒化，硫化等。可避免杂质的再扩散，减小晶片处理过程中的热预算。主要参数包括但不限于：最大基片直径不低于8英寸，腔壁采用抛光不锈钢材料 |
| 预计采购时间： | 2023-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。