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大连理工大学2022年11月政府采购意向-原子层沉积设备 详细情况
2022年11月14日 22:21 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 原子层沉积设备 | |
| 项目所在采购意向： | 大连理工大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 大连理工大学 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积设备 |
| 预算金额： | 270.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02062002电气物理设备 |
| 采购需求概况 ： | 原子层沉积设备，1台，拟采该设备用于二维纳米材料的微纳器件以及光电子器件等前沿课题研究，实现在硅片、纳米颗粒、3D器件及深沟槽和微孔结构等样品上原子层沉积生长氧化物及金属等薄膜，配置晶片沉积腔体和粉末沉积腔体的双腔装置，同时配置臭氧产生装置，满足在基片为晶片、被镀物为纳米颗粒或三维器件及深沟槽和微孔样品上的薄膜沉积与制备。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。