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中山大学2023年5至10月政府采购意向-中山大学高真空固态电池材料蒸镀系统采购项目 详细情况
2023年04月27日 10:21 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 中山大学高真空固态电池材料蒸镀系统采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2023年5至10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 中山大学高真空固态电池材料蒸镀系统采购项目 |
| 预算金额： | 68.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02052402真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购高真空固态电池材料蒸镀系统一套，该设备用于蒸镀氟化物以及金属Li和Na.
技术要求：
1、系统控制平台
1.1、基于PLC系统的全自动控制平台，有手动和自动两种操作模式。
1.2、频率范围：1到6.1 MHz；频率精度： 0.05Hz 。
1.3、镀膜过程可实现从抽真空开始到镀膜工艺结束全自动化操作，期间包括蒸发源切换、温度控制等。可自动控制预蒸镀时间，功率，以及在镀膜速率上可实现完全自动控制。基片挡板、蒸发源挡板可自动打开关闭。
1.4、速度精度：0.01Angstrom/s；膜厚精度：0.1Angstrom。
2、高真空镀膜系统及腔室，数量各1件：
2.1.方形主腔室内部尺寸不少于：400x400x500mm（宽x 深x高），容积：不少于80L；
2.2. 电控柜集成于镀膜腔室下方，整体尺寸不超过100×90×100cm（长×宽×高）：。
3、镀膜系统真空系统，数量：1套：
3.1、高真空测量系统，含PIRANI和PENNING两种检测方式，测量范围：大气压到5 x10-9mbar；
3.2、前级泵：旋页泵，抽速不少于：12 m3/h；
3.3、全磁浮分子泵：抽速不少于1100l/s（N2）；极限真空度：<1×10-7mabr；惰性气氛氛围下，从大气压力抽至1×10-6mbar时间少于13min；
4、低温温控蒸发源，2件：
4.1、温控范围：50~800℃，含挡板；
4.2、温控精度：±0.1k，600℃降至50℃时间<60min；控制模式：功率模式、温度模式、温度-功率模式；
4.3、8ccm容量坩埚，含电源和PID控制模块，含水冷接口
5、高温温控蒸发源，1件：
4.1、温控范围：300~1400℃，含挡板；温控精度：±1k
4.2、8ccm容量坩埚，含电源和PID控制模块，含水冷接口
6、样品台1套。转速5-33r/min，含气动可调节样品台挡板。
7、晶振探头：用于测量镀膜厚度，高度可调，水冷，含10个备用晶振片，数量：三个；
8、惰性气氛手套箱体1件，内部空间≥1800×780×900mm，可后期拼接扩展；
9、循环水冷机1件，；温控范围：5-35℃，温控精度：±1℃
配置清单：
1、蒸镀系统控制平台1台
2、镀膜腔室1套
3、泵组及高真空测量系统1件
4、低温温控蒸发源2件
5、高温温控蒸发源1件
6、样品台及挡板1套
7、晶振探头3件
8、双工位手套箱体1套
9、循环水冷机 1件
交付时间及地点
6个月内、校内交付
保修要求
软硬件免费保修期1年（耗材除外），保修期自仪器验收合格，双方签字之日起计算。整机保修，但不包含耗材。
售后服务要求：
1、响应时间：到现场维修时间≤48小时；
2、软件及数据库终身维护及升级；
培训要求：
现场安装调试及每年2人次培训 |
| 预计采购时间： | 2023-05 |
| 备注： | 欢迎供应商提前参与该项目的购前调查，以便采购人更好地了解贵公司和相关产品与服务的优势。请复制以下链接，用浏览器粘贴打开调查页面。https://survey.choicelink.cn/sysu/PurchaseIntention?id=519e69b046614732a6471e8b03115c43&tenant=2198&token=1 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。