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浙江大学2024年11月政府采购意向-光刻机（Nikon NSR 1505G6 详细情况
2024年10月14日 16:52 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 光刻机（Nikon NSR 1505G6 | |
| 项目所在采购意向： | 浙江大学2024年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 浙江大学 |
| 采购项目名称： | 光刻机（Nikon NSR 1505G6 |
| 预算金额： | 180.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100300 |
| 采购需求概况 ： | 本项目拟采购1台光刻机：分辨率0.8μm、套刻精度150nm、Stepping精度110nm。 经过详细调研与反复确认尼康 NSR1505G6型光刻机，具有完备的系统组成，包含了整机框架与控制体、曝光光学系统、掩膜台、掩膜传输、工件台、工件、对准、调焦调平、减震、环境等完整的功能子集，在性能上也具备了优秀的精度和稳定性表现，且能够支撑学校的培训与培养需求。 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。