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东南大学2025年1至3月政府采购意向-特殊气体系 统 详细情况
2025年01月06日 10:10 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 特殊气体系 统 | |
| 项目所在采购意向： | 东南大学2025年1至3月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东南大学 |
| 采购项目名称： | 特殊气体系 统 |
| 预算金额： | 650.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02102100教学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 1. 特气柜用于工艺机台提供稳定 的，高纯的特气输送，具有自动 吹扫和安全检测及报警检测。
2. 控制采用PLC+触摸屏，程序具有 逻辑连锁功能，防止人员操作失 误的风险。
3. 尾气处理设备，对化学气相沉积 （CVD）、分子束外延（MBE）和 原子层沉积（ALD）等工艺过程中 产生的有毒有害气体及气柜钢 瓶更换过程中管道残留有毒有 害气体进行处理的重要设备。尾 气处理设备系统具备安全监控 和自动化控制功能，确保实验过 程中产生的有毒有害尾气处理 达标； |
| 预计采购时间： | 2025-02 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。