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中国科学技术大学2023年10至12月政府采购意向-聚焦离子束系统 详细情况
2023年10月07日 11:01 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 聚焦离子束系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2023年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 聚焦离子束系统 |
| 预算金额： | 650.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02109900其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 名称：聚焦离子束系统
主要功能：利用经过聚焦的Ga离子束斑在样品上扫描，具有一定动能的Ga离子可以对样品进行刻蚀，形成纳米级的图形结构；也可以进行离子束成像。结合注入反应气体，可以实现薄膜的沉积功能。结合电子束观测，可以实现复杂的纳米结构加工。
采购数量：1
技术指标：1. 电子显微镜分辨率≤1nm 2. 离子显微镜分辨率≤5nm 3. Ga 离子束流 1pA-100nA |
| 预计采购时间： | 2023-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。