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华南理工大学2022年11月政府采购意向-自旋科技研究院购置反应离子束刻蚀系统项目 详细情况
2022年10月08日 16:35 来源: 中国政府采购网 【打印】
自旋科技研究院购置反应离子束刻蚀系统项目 | |
项目所在采购意向: | 华南理工大学2022年11月政府采购意向 |
采购单位: | 华南理工大学 |
采购项目名称: | 自旋科技研究院购置反应离子束刻蚀系统项目 |
预算金额: | 243.000000万元(人民币) |
采购品目: | A02052402真空应用设备 |
采购需求概况 : | “反应离子束刻蚀系统”一套,用于硅和Pt、Pd等金属的刻蚀,以制备自旋-声子耦合效应器件和自旋相关电输运器件。 |
预计采购时间: | 2022-11 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。