A02052402真空应用设备

有机-金属真空热蒸镀仪， 数量：1套。 该设备用于有机和金属样品真空蒸镀制备多层光电器件； 技术要求：蒸镀仪主要由底盘支架，基板，蒸发源，电脑系统，膜厚系统，真空室等组成。 1 ：带有16组蒸发源，4台蒸发电源，具体4源共蒸功能 2： 基片台一次可放4块基片，每块尺寸为32mm*32mm 3 :真空室采用SUS304不锈刚制作，内表面抛光电解，前后均可开门， 4 :可真空状态下更换掩膜板，具体12面掩膜图案结构，图案可更改 5 :控制系统采用电脑控制，相关的操作均在电脑界面完成 6: 膜厚控制系统带有8个探头，且其中7个位置可调节 7 :极限真空为2.5*10-5pa，从常压到5*10-4pa不超过15min（充氮气保护，从手套箱内操作） 交付地点要求:上门安装；售后服务要求（含培训）：提供现场使用培训。 服务相关要求：免费保修期3年（测试软件免费升级），交货时间为合同签订后3个月内或收到发货通知后90天。