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中国科学院化学研究所2023年5至12月政府采购意向-无掩膜光刻机 详细情况
2023年05月09日 15:05 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 无掩膜光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院化学研究所2023年5至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院化学研究所 |
| 采购项目名称： | 无掩膜光刻机 |
| 预算金额： | 120.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 无掩膜直写工艺作为先进的集成加工技术，不仅加工精度高，其加工的结构、图形灵活可设计，免去了掩膜版加工的周期和费用，成本降低的同时，工作效率大幅提高，因此，购置无掩膜直写曝光机对有机半导体器件研究，特别是可植入、可穿戴等新型功能器件研究意义重大 |
| 预计采购时间： | 2023-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。