A02179900其他电力工业设备

我校本次采购的超高温外延磁控系统主要应用于高质量薄膜材料制备研究，提升多学科科研能力发展。可以在极低的背底真空下工作，对生长状态进行直接观测，进一步修正温度、功率、氧源等参数，满足外延生长条件。本设备的购置对于器件物理的深入探究和高质量薄膜器件研制具有重要助力作用。具体需求：向上溅射生长方式，采用辐照加热，具有稳定的基片温度。采用超高真空冷泵，在极限真空下具有更低真空度的优势，可以搭配更多的溅射靶枪，可以做到多种材料同时生长，避免了更换腔体样品污染等问题。