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中国科学院化学研究所2023年5至12月政府采购意向-无掩膜直写设备(紫外光刻机) 详细情况
2023年05月09日 14:14 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 无掩膜直写设备(紫外光刻机) | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院化学研究所2023年5至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院化学研究所 |
| 采购项目名称： | 无掩膜直写设备(紫外光刻机) |
| 预算金额： | 296.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 为了配套晶圆级别基材的分子材料遴选和器件示范性制备，进行有机晶体管及矩阵电路微纳结构加工，建设性能稳定、结构可设计的曝光设备是必要的实验基础。紫外光波长：350 nm～450 nm范围内； 曝光强度：≥20 mW/cm²；分辨率≤1 μm；基片尺寸：支持6-8英寸及以下尺度基片。 |
| 预计采购时间： | 2023-07 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。