A02059900其他机械设备

采购项目名称：西南交通大学双腔原子级沉积设备采购。一、采购标的及数量 本次采购设备为：双腔原子级沉积设备1台。二、主要功能及目标：本次采购设备服务于原子级制造基础理论与关键技术创新研发平台建设，主要用于面向原子级制造、微纳器件加工及先进功能薄膜构筑等关键需求，在不破坏微纳结构形貌的条件下，实现复杂三维结构表面薄膜厚度与界面的原子级精准调控；可完备原子级薄膜沉积、多材料体系界面调控及复杂结构高均匀性覆盖的全流程研发条件，支撑高性能微纳器件、集成电路、微纳传感、能源器件及新型功能材料领域的芯片级功能集成、工艺机理研究与技术成果验证。三、质量、服务、安全及时限要求：所有设备须完全满足所列技术参数指标，整机性能稳定、工艺精度达标，整体质量符合国家及行业相关精密仪器标准；供方负责设备运输、上门安装调试、工艺标定及操作培训，质保期内维修、上门故障排查，提供技术支持；设备电气、机械及气路系统符合安全规范，具备过载、漏电、急停及异常报警等安全防护功能，适配实验室环境，运行无安全隐患；合同签订后须按约定时限完成供货、安装、调试及验收。