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复旦大学2023年11月政府采购意向-介质层淀积系统 详细情况
2023年10月24日 10:46 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 介质层淀积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2023年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 介质层淀积系统 |
| 预算金额： | 130.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 介质层淀积系统是一种用于制造薄膜材料的设备，通过物理或化学方法在基材上沉积介质材料，实现不同功能的薄膜制造。该设备主要应用于半导体器件、光电子器件和微电机系统(MEMS)的制造中。核心组成部分包括沉积源、真空系统、控制系统和样品夹持系统，其功能是实现高质量、高效率的介质层淀积，以满足不同应用领域的需求。 |
| 预计采购时间： | 2023-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。