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山东大学2022年10至12月政府采购意向-磁控溅射镀膜系统 详细情况
2022年10月18日 22:01 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 磁控溅射镀膜系统 | |
| 项目所在采购意向： | 山东大学2022年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 山东大学 |
| 采购项目名称： | 磁控溅射镀膜系统 |
| 预算金额： | 100.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | 薄膜制备 |
| 采购需求概况 ： | 磁控溅射是一种物理气相沉积（PVD）方法，在相互垂直的磁场和电场相互作用下，薄膜沉积速率快，致密且附着力好，可以进行各种金属与非金属薄膜材料的沉积，同时还可以设定多种工艺参数来满足实验要求，被广泛应用于各高校研究所纳米和半导体器件等薄膜制备。 |
| 预计采购时间： | 2022-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。