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同济大学2022年10至12月政府采购意向-原子层沉积ALD镀膜设备 详细情况
2022年10月27日 10:15 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 原子层沉积ALD镀膜设备 | |
| 项目所在采购意向： | 同济大学2022年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 同济大学 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积ALD镀膜设备 |
| 预算金额： | 800.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A9999其他不另分类的物品 |
| 采购需求概况 ： | 原子层沉积ALD镀膜设备（氟化物）的采购，可以实现埃量级薄膜厚度的精确制备，膜层致密，将在国内首先开展原子层沉积制备Al+氟化物薄膜的研究，采购数量1套，设备能够实现100-135nm波段高效率反射薄膜的制备。规格参数：沉积样品尺寸：大于φ50*500mm；采用电子束工艺制备氟化物LiF、MgF2和AlF3薄膜；独特的氟气专用管路，专为氟化物镀膜配备；设备具有较好的均匀性；加热方式：分布式沉积加热基板。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。