A02100602动力测试仪器

名称：柔性纳米机电系统力-电耦合性能表征系统 功能需求：表面形貌、动态特性的分析及可视化是柔性微纳机电系统实验测试和器件开发的关键。为探究造成薄膜材料/软材料表面变形的力学行为，及表面变形后的各种力学/电学特性，针对薄膜材料/软材料表面性能测试难度大的问题，传统机械系统的表征手段精度无法达到系统需求。为准确分析薄膜材料/软材料表面在静态/动态载荷下的变形和失稳行为，需要使用纳米结构力学表征系统测试不同载荷下材料的表面形貌；为准确分析薄膜材料/软材料表面变形后的的弹性模量、摩擦系数、粘弹性、导电率等参数的变化，需要使用纳米结构力学表征系统的纳米力学和纳米电学测试模块，对相应性质进行测量，并以此建立相应的力学图谱，分析表面的力学和电学特性。 指标要求：a)由于制作材料的尺寸不定，要求纳米结构力学表征系统的工作台范围大于等于100？mm×100？mm×10？mm； b)由于表面失稳的尺寸范围大约50？μm×50？μm，要求原子力显微镜（AFM）的扫描范围大于等于50？μm×50？μm； c)表面形貌的分辨率要求小于等于1？nm。 d)后续可扩展性 设备必须具有扩展纳米力学测试模块和电学测试模块的能力。