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哈尔滨工业大学2022年12月政府采购意向-扫描电镜联用系统 详细情况
2022年11月21日 11:51 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 扫描电镜联用系统 | |
| 项目所在采购意向： | 哈尔滨工业大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 哈尔滨工业大学 |
| 采购项目名称： | 扫描电镜联用系统 |
| 预算金额： | 1702.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100301显微镜 |
| 采购需求概况 ： | 扫描电镜联用系统，1套
1.高分辨场发射扫描电镜技术参数
1.1 成像系统技术要求
1.1.1 电子发射源：肖特基(Schottky)型热场发射电子源。
1.1.2 采用三物镜设计，可提供超高分辨模式，无漏磁分析模式和电子束无交叉模式；
★1.1.3 分辨率:
1.1.3.1 二次电子像分辨率（SE）：≤0.6nm （15kV），≤0.9 nm （1kV）；
1.1.3.2 背散射电子像分辨率（BSE）：≤1.6nm （15kV），
1.1.4 加速电压：调整范围：0.05-30 kV,调整步长≤100V。
★1.1.5 束流强度：2pA to 400 nA。
★1.1.6 放大倍数范围: 5-2,000,000倍，粗、细调模式连续可调。
1.1.7 扫描速度20ns–10ms/pixel多档可选，可实现全帧、选区、定点、线扫描。
1.2 样品室
★1.2.1 样品腔内部≥340mm，深度≥315mm。
1.2.2 最大样品尺寸：≥ 160mm（直径），保证无死角观察全样品。
1.2.3 样品置换时间（抽真空时间）：≤ 3.5分钟。
1.2.4 附件接口：≥20个附件接口。
1.2.5 样品台最大承重：≥7kg
1.2.6 等离子清洗器
1.3.7 减震类型：内置主动式电磁减震。
1.3 样品台
1.3.1 类型：5轴全自动马达驱动，优中心控制。
★1.3.2 移动范围:X方向≥130 mm,Y方向≥130mm,Z方向≥90mm,倾斜角度≥﹣60°到70o, 可360o 连续旋转。
1.4 探测器：
1.4.1 样品室内二次电子探测器；
1.4.2 样品室内电动可伸缩式LE-BSE探测器；
1.4.3 镜筒内配置能量过滤器的背散射探测器；
1.4.4 镜筒内二次电子探测器；
1.4.5 镜筒内中角背散射电子探测器
1.4.6 样品室内红外CCD相机；
1.4.7 皮安计，包含防碰撞报警功能
1.5 系统控制与软件
1.5.1 windows10 64位专业版操作系统的图形用户界面，操控功能可有键盘，鼠标，操控面板等完成。
1.5.2 图像显示： 32”LCD显示器, 分辨率不低于2560×1440。
1.5.3 软件应具备数据显示（加速电压、放大倍数、微标尺、工作距离、日期、时间、真空度、探测器）。
1.5.2 软件应具备标注功能（图形类(圈、矩形、箭头、测量线)、文字等）。
1.5.3 软件应具有测量功能，能测量试件的长宽高、直径、周长、面积等。
1.5.4 软件应提供远程控制/诊断功能，保证操作者的使用直观便捷化。
1.5.5 应具备图像及坐标导航及光镜-电镜连用功能，可兼容不同光镜厂商的光镜产品
1.5.6 软件具备样品室内部3D模型示意功能，防止碰撞，直观的显示试样和各部件的几何关系。
1.6 能谱及EBSD
1.6.1 能谱探测器：采用Si3N4新型SDD探测器窗口，采用低噪音的CMOS前置放大器内置的高速 SDD芯片，晶体有效活区面积≥70mm2。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。