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zycgr210708012026年7至9月政府采购意向-片盒清洗系统 详细情况
2026年06月16日 16:36 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 片盒清洗系统 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012026年7至9月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 片盒清洗系统 |
| 预算金额： | 500.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 用于半导体制造中用于清洁晶圆承载盒（如FOUP、cassette等）的专用设备，旨在去除片盒表面的颗粒、有机物及工艺残留物，确保晶圆传输过程中的洁净度。其核心功能包括支持12寸cassette的清洗、干燥和颗粒检测，通常采用超声波震荡、高压喷淋或化学湿法结合物理刷洗技术，有效清除附着的污染物。清洗效率：清洗周期小于30分钟 |
| 预计采购时间： | 2026-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。