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同济大学2022年10至12月政府采购意向-离子束溅射镀膜机设备 详细情况
2022年10月27日 10:15 来源: 中国政府采购网 【打印】
离子束溅射镀膜机设备 | |
项目所在采购意向: | 同济大学2022年10至12月政府采购意向 |
采购单位: | 同济大学 |
采购项目名称: | 离子束溅射镀膜机设备 |
预算金额: | 2800.000000万元(人民币) |
采购品目: | A9999其他不另分类的物品 |
采购需求概况 : | 离子束溅射镀膜机采购,IBS (离子束溅射)镀膜光学元件能帮助需求严苛的激光光学应用实现可能达到的最高性能,采购数量2台,这些光学元件上的薄膜具有密集、无孔且均勺的镀膜层,因此具有无漂移且对温度不敏感的性能。规格参数:高真空腔室:极限真空8.0×10(-8);沉积样品夹具:φ4×310mm&φ2×310mm;夹具转速:行星式转动0.05rps~0.4rps;透射式直接宽光谱光学监控系统:波长范围400-1050nm,分辨率:0.67nm;透射式直接单波长监控系统:波长范围350-2100nm,分辨率:0.1nm;溅射源:16cmRF离子源&12cmRF离子源;靶材:双旋转溅射靶材组件,φ355.6×25.4mm; 真空系统:分子泵、机械泵、Polycold Bruker Dimension IconIR纳米红外光谱及成像大样品台采购,设备可以提供优于10nm化学成像分辨率和单分子层灵敏度,样品灵活性大,标准系统支持150mm大样品,采购数量1台,用于薄膜材料的纳米级红外光谱、物理和化学性能表征。规格参数:纳米红外模式 共振增强AFM-IR;轻敲模式AFM-IR;接触模式 AFM-IR;表面灵敏模式SSM;XY方向最大扫描范围90 μm x 90 μm;Z方向最大扫描范围10 μm;红外成像空间分辨率:使用Bruker提供的AFM-IR激光器情况下,<10 nm的空间分辨率;XY方向马达驱动自动样品台:真空吸附,X-Y方向移动范围150 mm x 150 mm;光学辅助观察系统:5百万像素,180μm至1465μm视场范围,数字化缩放,马达驱动聚焦。 |
预计采购时间: | 2022-11 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。