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南京大学2025年9月政府采购意向-四维离子束刻蚀分析仪 详细情况
2025年08月15日 21:21 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 四维离子束刻蚀分析仪 | |
| 项目所在采购意向： | 南京大学2025年9月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京大学 |
| 采购项目名称： | 四维离子束刻蚀分析仪 |
| 预算金额： | 455.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02110204 半导体器件参数测量仪 |
| 采购需求概况 ： | 南京大学拟采购四维离子束刻蚀分析仪一台，用于对金属、钙钛矿薄膜、半导体等多种类型材料进行刻蚀加工；以及允许在力、热、光、电多场加载下，实现四维、多模态表征。主要参数如下：集成离子束刻蚀与实时分析功能，加工刻蚀精度：≤3 nm@30 kV，分析精度：≤1.6 nm@1 kV, SE；样品台可实现旋转和倾斜。质保期：1年。 |
| 预计采购时间： | 2025-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。